[干渉図形] (Interferogram)
干渉図形を生成および表示します。
[瞳サンプリング] (Pupil Sampling) 瞳のサンプリングに使用する光線グリッドのサイズ。32x32、64x64 などのサンプリングが可能です。サンプリング値が高いほど正確なデータが得られますが、計算時間が長くなります。
[面] (Surface) データを評価する面を選択します。これは、中間像を評価するときに効果的です。「中間面での結果の評価」を参照してください。
[倍率] (Scale Factor) OPD の波あたりのフリンジ数を指定します。ダブル パス干渉計 (倍率 2 を使用) のモデル化に効果的です。
[表示方法] (Show As) 表示オプションとして、輪郭マップ、グレー スケール、または疑似カラー マップを選択します。
[波長] (Wavelength) 計算に使用する波長の番号です。
[視野] (Field) 計算の対象となる視野の番号です。
[X ティルト] (X-Tilt) 倍率の適用後に、x 方向に追加するティルトの干渉縞数。
[Y ティルト] (Y-Tilt) 倍率の適用後に、y 方向に追加するティルトの干渉縞数。
[ビーム 1] (Beam 1) 干渉図形の 1 番目のビームを選択します。「説明」を参照してください。
[ビーム 2] (Beam 2) 干渉図形の 2 番目のビームを選択します。「説明」を参照してください。
[ビームの基準を頂点にする] (Ref Beam To Vertex) 通常、OpticStudio では OPD の基準として主光線を使用しており、これによって実質的に波面位相からティルトが差し引かれます。干渉法では、波面ティルトを維持した方が良い場合もあります。このオプションをチェックすると、像面の頂点からの主光線の偏差に基づいて、ティルトがビームに追加されます。このオプションは、主光線が面の頂点に十分に近く、主光線の偏差でティルトを記述できるという前提が成立している視野位置でのみ効果的です。また、この機能は倍率が 1.0 の場合にのみ使用するようにします。
[射出瞳形状を使用] (Use Exit Pupil Shape) チェックすると、指定した視野の像点から見た射出瞳の近似形状が表現されるように瞳の形状が変形します。形状は、瞳の X 方向と Y 方向でのビームの F ナンバーに基づいています。このボックスのチェックをはずすと、射出瞳が実際にどれだけ変形していても、プロットは円形入射瞳の座標に合わせてスケーリングされます。
ビーム 1 が「基準」である場合、瞳の形状の決定ではビーム 2 のコンフィグレーションが使用されます。ビーム 1 が「基準」ではない場合は、ビーム 1 のコンフィグレーションが使用されます。ビーム 1 とビーム 2 の両方が異なるコンフィグレーションで定義されている場合は、ビーム 1 の形状が使用され、瞳が同じ形状であるかどうかは確認されません。2 つのコンフィグレーションで瞳の形状が異なっていると、この機能で干渉図形を正確に予測することはできません。
[光路長の差を考慮する] (Consider Path Length Difference) チェックをはずすと、各ビームの中心の位相が 0 であると想定して干渉図形が計算されるため、中心に「暗い」干渉縞が生成されます。2 つのビームの間で互いを基準とした位相の判断は試みられません。
チェックすると、各ビーム コンフィグレーションどうしでの主光線の合計光路長の差が考慮されます。この設定によって干渉図形全体の位相が変化しますが、干渉縞パターンの形状は変化しません。たとえば、光路長の差がちょうど 1/2 波長の場合、暗い干渉縞は明るくなり、明るい干渉縞は暗くなります。干渉縞が像面上で局在化していない場合でも、物体から像面への主光線の光路長が使用されます。この仮定は、各コンフィグレーションで像面からの距離が同じである平面上で干渉縞が局在化している場合にのみ有効です。コンフィグレーションにあるビームではなく、基準ビームを選択すると、基準ビームの光路長は 0 であると見なされます。
[輪郭書式] (Contour Format) 輪郭の書式文字列。輪郭書式文字列の構文については「輪郭書式文字列」を参照してください。
[サブアパチャー データ] (Subaperture Data) : [Sx] (Sx)、[Sy] (Sy)、[Sr] (Sr) 干渉図形データを計算する瞳のサブアパチャーを定義します。 詳細については、「サブアパチャーの計算」を参照してください。
説明 :
この機能では、ビーム 1 と 2 からそれぞれ 1 つずつ、合計 2 つの瞳マップを計算します。これらの 2 つの瞳マップの位相 (OPD) が差し引かれた後、ティルト干渉縞をシミュレートするために、x 瞳座標と y 瞳座標の関数として何らかの線形位相が必要に応じて追加されます。個々のビームには、いずれかのコンフィグレーションで計算された OPD、または OPD が 0 の「基準」ビームを選択できます。
2 つのコンフィグレーションを使用して光学系の中で 2 つの光路をモデル化し、生成された 2 本のビームの干渉図形を計算することにより、干渉計をシミュレートできます。以下のような簡潔化のための仮定に起因して、この手法の精度には制限があります。
- 2 本のビーム間の横方向移動または倍率差が無視され、各瞳が射出瞳で完全に重なり合う。
- 透過率の差は無視されるので、瞳の中のどの点でも 2 つの OPD 値の強度は等しく、位相を差し引くことにより、最終的な位相差が得られる。
次へ :