干涉图(Interferogram)





生成并显示干涉图



采样(Sampling) 用于进行光瞳采样的光线网格的尺寸。采样可以是32x32、64x64等。虽然更高的采样率会得出更准确的数据,但计算时间也会增加。

表面(Surface) 选择要评估的数据所位于的表面。此选项对评估中间图像十分有用。请参阅"在中间面上的结果评估(Evaluating results at intermediate surfaces)"。

比例因子(Scale Factor) 决定光程差(OPD)为一个波长的条纹数量。有利于对双通干涉仪建模(即对双通系统使用比例因子2)。

显示为(Show As) 选择等高线、灰度或伪彩色图作为显示选项。

波长(Wavelength) 计算中将使用的波长编号。

视场(Field) 计算中使用的视场编号。

X倾斜(X-Tilt) 使用比例因子后,要在x方向添加的倾斜条纹的数量。

Y倾斜(Y-Tilt) 使用比例因子后,要在y方向添加的倾斜条纹的数量。

光束1(Beam 1) 为干涉图选择第一条光束。请参阅"详述"。

光束2(Beam 2) 为干涉图选择第二条光束。请参阅"详述"。

参考光速到顶点(Ref Beam To Vertex) 一般情况下,OpticStudio会参考主光线计算光程差,这实际上减去了波前相位中的倾斜。对于干涉仪,有时需要保留波前倾斜。选中此选项会将倾斜(基于主光线与像面顶点的偏差)加入到光束中。此选项仅适用于其主光线与表面顶点相当接近的视场位置,且前提是通过主光线偏差所描述的倾斜有效。仅当比例因子为1.0时,才能使用此功能。

使用出瞳形状(Use Exit Pupil Shape) 如果选中,光瞳的形状将失真,以显示从特定视场的像点观察时出瞳的大概形状。该形状以光束在X和Y光瞳方向的F/#为依据。如取消勾选此选框,无论出瞳实际上会出现何种程度的失真,图形都将按比例缩放至环形入瞳坐标。

如果光束1是"参考"光束,则使用光束2的所在结构确定光瞳形状,反之则使用光束1所在结构来确定。如果光束1和光束2由不同的结构定义,则使用光束1的形状,并且不会去判断这些光瞳的形状是否相同。如果两种结构的光瞳形状不同,则此功能不能准确预测干涉图。

考虑光程差(Consider Path Length Difference 如果未勾选,则假设两束光的中心相位为零后计算干涉图,这将导致中心是"暗"条纹。不会尝试确定两条光束相对于彼此的相位。

如果勾选此选项,则会考虑每一结构光束中的主光线的总光程差。此设置将改变整个干涉图的相位,但不会改变条纹图样的形状。例如,如果光程差正好是波长的一半,则暗条纹将变为亮的,亮条纹将变为暗的。即使这些条纹不在像面中,也用到物面到像面的主光线的光程。仅当各个结构中条纹所在的平面距离各自结构的像面距离相同时,此假设才有效。如果选择参考光束而非某一结构中的光束,则假设参考光束的光程为零。

轮廓格式(Contour Format) 轮廓格式字符串。有关轮廓格式字符串语法的详述,请参见"轮廓格式字符串(The Contour Format String)"。

子孔径数据:Sx、Sy、Sr(Subaperture Data: Sx, Sy, Sr) 定义为其计算干涉图数据的光瞳子孔径。  请参阅"子孔径计算(Subaperture computations)",以了解详细信息。

详述(Discussion)

通过计算两张光瞳图(光束1和2各一张)实现此功能,两张图各对应于一束光线。两张光瞳图的相位(或光程差)相减,然后随x和y光瞳坐标变化选择性地加上某些线性相位以模拟倾斜条纹。每一光束可以是任一结构中计算的光程差,也可以是光程差为零的"参考"光束。

通过使用两个结构的系统对两个光程建模可以模拟干涉仪,然后计算两个结果光束的干涉图即可。此方法的准确性受限于某些简化假设:

  • 忽略两条光束之间的所有垂轴漂移或放大率差别,假设这些光瞳完全叠加在出瞳位置。
  • 忽略所有透射率差值;假设光瞳任一点的两个光程差值强度相等,相位可以相减以生成净相位差。

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