ISOC:峰谷旋转对称不规则度(RSI)公差(ISOC:Tolerance on P-V RSI (rotationally symmetric irregularity))
操作数目标
ISOC操作数向目标表面添加峰谷旋转对称不规则度(RSI)。根据ISO-10110-5表面形状公差的规定,该操作数对应于图纸注释3/A(B/C)中的C。
操作数行为
在计算公差过程中,该操作数使用Zernike标准矢高面为目标表面增加矢高,该矢高面作为复合组件面添加。新增矢高遵循Zernike标准矢高方程,c=k=αi=0、Zernike多项式为11、22、37、56,而且
去除piston:
孔径(Apertures)
如果目标表面具有圆形离轴孔径,则通过调整Composite属性中的倾斜和偏心,将Zernike标准矢高表面定位在离轴表面的顶点。新表面的“净口径”设置为目标表面的孔径半直径,如果目标表面上没有孔径,则设置为“净口径”。目前不支持非圆形孔径。
输入
ISOC操作数的输入包括:面、单位、统计分布、标称、最小值和最大值。
面(Surf):目标表面镜头数据编辑器中的行数。
单位(Units):选择最大值的单位。0 = 纳米单位,1 = TWAV定义的光圈数,2 = 微米。
统计分布(Statistics):0 = 在蒙特卡罗分析期间始终使用P-V RSI的最大值。1 = 从高斯分布中选择P-V RSI值。
标称(Nominal):该操作数的标称值始终为0,表示没有增加RSI。
最小值(Min):总是设置为-Max
最大值(Max):指定添加到表面的最大P-V RSI。
灵敏度分析
在灵敏度分析中,可在以下两种P-V RSI情况下,对标准的影响进行评估:-Max和+Max。
蒙特卡罗分析
对于蒙特卡罗分析,可从均值为Max/2、标准差为σ=Max/8的高斯分布中选择一个介于0和Max之间的随机P-V RSI值,截断点在0以下、Max以上。
ISOC与ISOB的相关性:
如果目标表面也应用ISOC,则ISOB和ISOC可以相互关联,同时满足B (P-V总不规则度)和C(P-V旋转对称不规则度)的要求。ISOB操作数的Zernike标准矢高面将具有设置为零的旋转对称项:A11 = A22 = A37 = 0。ISOC操作数的Zernike标准矢高面包含A11、A22、A37和A56项。
可选择系数值,因此可满足ISOC表面的P-V要求,ISOB和ISOC表面的和将提供ISOB操作数最大值指定的P-V总不规则度。
ISOC最大值必须小于ISOB最大值。
注意,我们已经从RSI中去掉了piston项,因此照射在孔径顶点的光线将保持不变,不会获得任何相位。
如果将ISOC多次应用于表面,则每次出现都会覆盖蒙特卡罗文件中相关LDE行中的先前值。只有最后一次出现的操作数才会出现在蒙特卡罗文件中。
下一部分: