圈入能量(分类优化操作数)(Encircled Energy (optimization operands by category))

圈入能量操作数
DENC、DENF、ERFP、GENC、GENF、XENC、XENF
名称 描述
DENC

衍射圈入能量(距离)。该操作数计算到由百分比(Frac)定义的圈入、方形圈入,仅x方向,或仅y方向的狭缝的衍射能量分数的距离。对于有焦模式,以微米为单位。对于无焦模式,单位是无焦模式的单位。其它的参数是:

采样(Samp):光瞳采样,其中1生成32x32,2生成64x64等。

波长(Wave):要使用的波长编号(用0表示多波长)。

视场(Field):视场编号。

类型(Type):1表示圈入,2表示仅x方向,3表示仅y方向,4表示方形。

参考(Refp):使用的参考点/算法。对于FFT圈入能量,用Refp=0表示主光线(chief ray),1表示质心,2表示顶点。对于惠更斯圈入能量,用Refp=3表示主光线,4表示质心,5表示顶点。当使用惠更斯方法时,I Samp表示惠更斯像采样(1表示32x32,2表示64x64等等),而I Delta表示惠更斯像间距。如欲了解有关惠更斯像采样和像面采样间距Δ的详细描述,请参见"圈入能量(Encircled Energy)"。

如果采样太低,半径的返回值是le+10。也可参见DENF、GENC和XENC。使用DENF和DENC识别顶点位置的衍射圈入能量,需要检查Frac输入中的像面采样间距Δ值。因为在衍射圈入能量中,我们有最大距离或像面采样间距Δ输入。通过使用最大距离或像面采样间距Δ,我们可以确定某个半径上的峰值。首先,在衍射圈入能量分析中了解顶点的峰值和半径。然后在DENC和DENF中使用这个像面采样间距Δ来纠正顶点的距离值以及顶点能量与距离的比例值。

DENF

衍射圈入能量(分数)。该操作数计算距离(Dist)定义参考点的距离处圈入、方形圈入、仅x方向或y方向的狭缝的衍射能量分数。对于有焦模式,距离单位是微米。对于无焦模式,距离单位是无焦模式单位。

选项和设置与DENC一样,除"距离"外,在这里距离用作期望能量分数的距离。也可参考DENC、GENC、GENF和XENC。

如果定义的"距离"值超过了圈入能量非常接近100%的点,则返回的分数为1e+10;这样做是为了优化效率。

ERFP

边缘响应函数的位置。这个操作数计算的是一个点的边缘响应函数达到一个确定的相对值时,此点的x或y的位置。有关边缘响应函数计算的细节,请参见"几何线/边缘扩散"。采样(Sampling)值为1代表

32x32,为2代表64x64,等等。波长(Wave)是波长编号,0代表多波长。视场(Field)是视场编号。类型(Type)决定了要返回的数据。如果类型(Type)是0或1,返回的就是相对于主光线的x位置(即边缘平行于局部y轴)或y位置(即边缘平行于局部x轴),它们使用镜头单位。如果波长(Wave)为0,以主波长的主光线作为参考点。如果类型(Type)是2或3,返回相对于表面顶点的x或y的位置,也使用镜头单位。百分比(Fraction)是边缘响应曲率的相对值,而且必须在0.01和0.99之间。最大半径(Max Radius)是积分窗口径向尺寸的最大值,它以微米为单位。如果最大半径(Max Radius)为0即为默认值。在大多数情况下建议设定为默认值。

注意,边缘响应函数通常定义为边缘的"亮(bright)"侧在整合坐标系的+侧。这就意味着在坐标变为更正时,边缘响应会变为1。为了计算反方向边缘响应的结果,即"亮"面在坐标系的负方向,使用值(1-fraction)代替(fraction)。例如,为了得到一个反方向的80%的边缘响应,使用Fraction = 0.20。

如果使用的是无焦模式,所有的返回值都采用无焦模式的单位。

GENC

几何圈入能量(距离)。该操作数计算到指定几何圈入、方形圈入、仅x方向、或仅y方向(狭缝)的由Frac定义的能量分数的距离。对于有焦模式,单位是微米。对无焦模式,单位是无焦模式的单位。其它参数是:

采样(Samp):光瞳采样,其中1生成32x32,2生成64x64等。

波长(Wave):要使用的波长编号(用0表示多波长)。

视场(Field):视场编号。

类型(Type):1表示圈入,2表示仅x方向,3表示仅y方向,4表示方形。

参考(Refp):使用的参考点。用0表示主光线,1表示质心,2表示顶点,3表示点列中心。

无衍射极限(No Diff Lim):如果为0,结果按衍射极限缩放,否则不考虑衍射。

也可参见GENF、DENC、DENF和XENC。

GENF

几何圈入能量(分数)。这个操作数计算从"距离"定义的参考点到给定距离位置的几何圈入、方形圈入、仅x方向或仅y方向(狭缝)能量的分数。

选项和设置与GENC一样,除"距离"外,在这里距离用作期望能量分数的距离。也可参见GENC、DENC、DENF和XENC。

XENC

扩展光源圈入能量(距离)。此操作数使用当前的默认设置,计算到扩展光源几何圈入能量的指定分数距离,单位为微米。若要使用此操作数,请先根据需要定义扩展光源圈入能量特性的设置,然后按设置框中的"保存(Save)"按钮。唯一被覆盖的设置是类型(Type)波长(Wave)以及最大半径(Max Radius)

类型(Type)1表示圈入,2表示只有x方向,3表示只有y方向,4表示方形圈入,5表示x分布,6表示y分布。当使用类型2或3时,计算的距离是包含Frac定义能量分数的"完整(full)"狭缝宽度。这是分别以所选参考点为中心的[-x, x]或[-y, y]范围的"完整(full)"狭缝宽度。例如,如果Dist=20µm,这意味着能量分数包含在+/-10µm的狭缝宽度中。

波长(Wave)是输入的波长编号。 

百分比(Frac)是所需的能量分数,而且必须介于0和1之间,包含首尾值。此外,类型为5和6时忽略Frac,因为这些类型的返回值是所需能量分数的最大半高全宽值,与Frac无关。

最大半径(Max Radius)是径向距离的最大距离,单位为微米。如果该值为零,则使用默认设置。

也可参见XENF、DENC、DENF、GENC和GENF。

XENF

扩展光源圈入能量(分数)。这个操作数计算从参考点到一定距离处的几何圈入、方形圈入、仅x方向、仅y方向(狭缝)能量分数。

类型(Type)1表示圈入,2表示仅x方向,3表示仅y方向,4表示方形圈入。当使用类型2或3时,PSF中的能量分数分别在以所选参考点为中心的[-x, x]或[-y, y]范围内进行计算。这是由"距离"给出的完整狭缝宽度。例如,如果Dist=20 µm,则针对+/-10µm的狭缝宽度计算能量分数。

波长(Wave)是输入的波长编号。 

选项和设置与XENC一样,除"距离"外,在这里距离用作期望能量分数的距离。

也可参见XENC、GENC、GENF、DENC和DENF。

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