ISOD:RMS总不规则度公差
操作数目标
ISOD操作数向目标表面添加RMS不规则度。根据ISO-10110-5表面形状公差的规定,该操作数对应于图纸注释3/A(B/C) RMS<D中的D。
操作数行为
在公差过程中,该操作数使用Zernike标准凹陷面为目标表面增加凹陷,该凹陷面按复合附加表面添加。新增凹陷遵循Zernike标准凹陷方程,c=k=αi=0、多项式为5-37,而且
去除piston:
孔径
如果目标表面具有圆形离轴孔径,则通过调整Composite属性中的倾斜度和中心点,将Zernike标准凹陷表面定位在离轴表面的顶点。新表面的"净口径"设置为目标表面的孔径半直径,如果目标表面上没有孔径,则设置为"净口径"。目前不支持非圆形孔径。
输入
ISOD操作数的输入有:面、统计分布、单位、标称、最小值和最大值。
面(Surf):目标表面镜头数据编辑器中的行数。
单位(Units):选择最大值的单位。0 =纳米单位,是目前唯一的选项。
统计分布(Statistics):0 =在蒙特卡罗分析期间始终使用P-V RSI的最大值。1 =从高斯分布中选择RMS不规则度值。
标称(NOMINAL):该操作数的标称值始终为0,表示没有增加不规则度。
最小值(Min):指定最少添加的不规则度项,始终设置为-Max。
最大值(Max):指定添加到表面的最大RMS不规则度。
灵敏度分析
在灵敏度分析中,可在以下两种RMS不规则度情况下,对标准的影响进行评估:-Max 和 +Max。
MonteCarlo分析
对于蒙特卡罗分析,可从均值为Max/2、标准差为σ=Max/8的高斯分布中选择一个介于0和Max之间的随机RMS不规则度值,截断点在0以下、Max以上。
ISOC使用说明
- 如果将ISOD多次应用于表面,则每次出现都会覆盖蒙特卡罗文件中相关LDE行中的先前值。只有最后一次出现的操作数才会出现在蒙特卡罗文件中。
- ISOD不应用于其它调节表面不规则度的操作数,如TEZI、TEXI或TIRR等。
- ISOD不应与ISOB一起使用。如果两个操作数都存在,就会将两个不规则度表面添加到目标表面。
- ISOD不能与ISOC关联。
- 如果选择piston项最小化RMS,则会在ISOD表面移除piston项,这可能会产生比预期更大的RMS表面不规则度。
- ISOD与ISO-10110中定义的RMSi大致相等。但光焦度和倾斜度并没有从添加到目标表面的表面扰动中去除。Zernike项的一些随机组合可能有足够的剩余倾斜度或光焦度来影响结果,因此系统看起来对该错误的敏感比对其它情况更高。
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