ISOB:P-V总不规则度公差
操作数目标
ISOB操作数向目标表面添加峰谷值不规则度。根据ISO-101110-5表面形状公差的规定,该操作数对应于图纸注释3/A(B/C)中的B。
操作数行为
在公差过程中,该操作数使用Zernike标准凹陷面为目标表面增加凹陷,该凹陷面按复合附加表面添加。新增凹陷遵循Zernike标准凹陷方程,c=k=αi=0、多项式为5-37,而且
去除piston:
孔径
如果目标表面具有圆形离轴孔径,则通过调整Composite属性中的倾斜度和中心点,将Zernike标准凹陷表面定位在离轴表面的顶点。新表面的"净口径"设置为目标表面的孔径半直径,如果目标表面上没有孔径,则设置为"净口径"。目前不支持非圆形孔径。
输入
操作数的输入有:面、单位、统计分布、标称、最小值和最大值。
面(Surf):目标表面镜头数据编辑器中的行数。
单位(Units):选择最大值的单位。0 =纳米单位,是目前唯一的选项。
统计分布(Statistics):0 =在蒙特卡罗分析中始终使用P-V不规则度的最大值,1 =从高斯分布中选择P-V不规则度值。
标称(NOMINAL):该操作数的标称值始终为0,表示没有增加不规则度。
最小值(Min):指定最少添加的光焦度项,始终设置为-Max。
最大值(Max):指定添加到表面的最大不规则度。
灵敏度分析
在灵敏度分析中,可在以下两种P-V不规则度情况下,对标准的影响进行评估:-Max 和 +Max。
MonteCarlo分析
对于蒙特卡罗分析,可从均值为Max/2、标准差为σ=Max/8的高斯分布中选择一个介于0和Max之间的随机P-V不规则度值,截断点在0以下、Max以上。
相关联ISOB与ISOC:
如果目标表面也应用ISOC,则ISOB和ISOC可以相互关联,同时满足B (P-V总不规则度)和C (P-V旋转对称不规则度)的要求。当相关联时,ISOB操作数的Zernike标准凹陷面将具有设置为零的旋转对称项:
。请参阅ISOC进行进一步讨论。
ISOB使用说明
- 如果将ISOB多次应用于表面,则每次出现都会覆盖蒙特卡罗文件中相关LDE行中的先前值。只有最后一次出现的操作数才会出现在蒙特卡罗文件中。
- 注意,我们已经从不规则度中去掉了piston项,因此照在孔径顶点的光线将保持不变,不会获得任何相位。
- ISOB不应用于其它调节表面不规则度的操作数,如TEZI、TEXI或TIRR等。
- ISOB不能与ISOD一起使用;如果两个操作数都存在,就会将两个不规则度表面添加到目标表面。
- 根据ISO-10110,光焦度和倾斜度应该从添加到目标系统的总扰动中去除,但对于速度而言,这些项未从ISOB Zernike标准凹陷面中去除。Zernike项的一些随机组合可能有足够的剩余光焦度或倾斜度来影响结果,因此系统看起来对不规则度的敏感比对其它情况更高。
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